产品介绍 HGZ-DVAI主动隔振平台由红星杨最新推出的一款新型主动隔振平台，由隔振支架和主动隔振系统组成。其中主动隔振系统的精密金属弹簧支架实现被动隔振，洛伦兹电机实现主动隔振。最低固有频率可以达到0.7hz，平台提供六自由发言，高精度，待地基反馈的隔振。相比传统主动隔振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，在50HZ频率环境范围内使用能达到最佳的隔振效果。 平台在运行过程中不需要使用空压机，安装方便，即插即用。能适应地基调节前馈，实现6自由度减震，具有极佳的减震性能。技术指标▇ 6个自由度▇ 最低隔振频率处传递率：▇ 作动器推率常数：80N/Apm▇ 最大功率：1Kw 系统减震测试介绍 主动隔振系统由洛伦兹电机，速度传感器以及控制器集成一套完整的闭环伺服控制系统，在0.7-50HZ内实现主动减震。超过50HZ频率的振动由被动支架金属弹簧隔离。减震台的隔振弹簧在3个平东方向的固有频率是3-5HZ.由于实施反馈控制，减震台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7HZ. 下图1为250kg载荷情况下，有LMS测得的垂向传递率曲线。图中红色曲线代表开环传递率，绿色曲线表示反馈闭环传递率，绿色曲线表示反馈闭环传递率，蓝色曲线表示反馈加前馈闭环传递率。由蓝色曲线可知，在0.7HZ左右，传递率为0dB。在5-6HZ，传递率为15DB，在10HZ左右，传递率接近-40dB。洁净室环境：万级以上净化，环境噪声测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道 输出模块。LMS Test.lab数据分析系统；PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经底频扩展）测试方式：将减震系统置于地基上用手推动工作平台观察洛伦兹电机，确定定子和动子之间...
低频振动VS中高频振动低频振动：能量大，波长长，距离大，地质有关。高频振动：能量有限，电机，泵，房屋结构。电镜对低频振动敏感。电镜内部有气缸（被动），自行可以消除中高频振动。高频振动可以换位置解决，低频振动难以通过被动去解决。主动减震VS被动减震类别原理作用频率范围主动减振带振动探头和控制单元反馈补偿系统。一般用于SEM/TEM/STM/光刻机等。合格的从1Hz以下开始被动减振水泥块，橡胶，大质量块。一般用于光学设备平台或者低振动要求。一般20Hz开始微博主动减震产品特性■ 专为扫描/双束电镜(SEM/FIB)设计■ 从1Hz以下开始有效的主动减振系统■ 含前馈的双重主动控制，低频效果显著增加■ 载重能力：300kg至1500kg■ 6自由度主动控制■ 不需要额外压缩空气■ 专业研发人员根据现场情况精密调试，保证最佳性能HGZ-AVI系列主动减震原理HGZ-AVI系列主动隔振平台由减振平台和控制器两部分组成。减振平台采用精密金属弹簧实现被动隔振，由精密直线电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用超精密震动探头，所有零部件封闭在机体内。系统运行时不需提供额外压缩空气，能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。HGZ-AVI系列主动隔振平台安装示例HGZ-AVI系列主动减震传输特性曲线带前置双反馈， 红色曲线代表水平方向开启前置反馈的现场情况主动减振开启关闭10万倍某场地SEM图片对比主动隔振平台 主动隔振光学平台 武汉红星杨科技精密直线电机