HLK-100型白光干涉光学轮廓仪是基于光学干涉原理,实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量,帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析。 1.产品型号:HLK-1002.产地:中国武汉3.产品功能:基于光学干涉原理,实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量,帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析。4.技术指标:型号指标HLK-100HLK-200放大倍率10╳, 20╳,50╳垂直分辨率 (nm)0.1垂直范围(mm)0.084mm水平分辨率(um)3.0 (10倍), 1.0 (20倍),0.5 (50倍)水平范围(mm2)2×1.5/10╳,1×0.8 /20╳,0.4×0.3 /50╳20×20输出标准化参数二维粗糙度参数(ISO25178):Ra,Rz,Rz,Rmax,Rp,Rq,Rpm,Rvm,R3z ,Wt,Pt,Tpa Ra三维粗糙度参数(ISO25178):Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc