产品特点:l 红星杨科技采用整体不锈钢设计,保证产品高刚性,高稳定性。l 采用超精密旋转减速机(精度可达2弧分)l 光栅尺采用进口雷尼绍0.1µm分辨率l 丝杆,导轨采用高精密级THK,保证运行平行度l采用红星杨科技HKZA-2WB系列,全闭环运动控制卡。l 本产品特别适用科研实验或精密检测,超精密光学加工,光学对焦等。技术参数:l 有效行程:100mm,最大速度:5mm/s;l 直线度:±8µm;平行度:±5µml 重复定位精密:±0.3µm(干涉仪数据)l 直线度:±8µm;平行度:±5µml 最大负载:15kg
技术参数:l 红星杨科技采用进口精密丝杆、导轨,保证运行精密及平行度。l 光栅尺分辨率:1µm,松下伺服电机200Wl 本产品特别适用科研实验或精密检测,超精密光学加工等。l 有效行程:X:300mm,Y:300mm,Z:300l 最大速度:50mm/s;l 直线度:±8µm;平行度:±6µml 重复定位精密:±2µm(干涉仪数据)l 最大负载:25kg
电动位移台,速度900mm/s。伺服控制,精密运动控制系统,精密位移平台
精密光机系统应用:精密升降台,精密位移台,光学平台组合
精密隔振光学平台位移测量系统,HGZT-15-10光学平台,精密位移平台产品